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凈化車間為要控制溫濕度的主要目的是什么

更新時(shí)間:2019-07-08      點(diǎn)擊次數(shù):2583
      為檢查凈化車間工作正常所進(jìn)行的各項(xiàng)測試中,其中一項(xiàng)就是對室內(nèi)氣流的檢查。這是整個測試程序的組成部分。為了稀釋或消除室內(nèi)的懸浮污染,從而防止污染在室內(nèi)的積累,室內(nèi)必須有充分的氣流流動。所以對氣流必須進(jìn)行檢測。
  在紊流潔凈室中,風(fēng)的輸送和混合都是紊流方式進(jìn)行的。為確保污染物被清楚,無塵車間的各個部分必須均實(shí)現(xiàn)良好的空氣混合。在單向流凈化車間中,為保證關(guān)鍵區(qū)域達(dá)到潔凈的水平,其送風(fēng)直接來自過濾器。
  凈化車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定,在滿足加工工藝的條件下,首先應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對溫濕度的要求也越來越高,必須達(dá)到一定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢Ξa(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時(shí)易生銹。
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